出典:デジタル大辞泉(小学館)

超音波を利用する顕微鏡。周波数が100メガヘルツから3ギガヘルツの超音波パルスを試料に照射し、その反射波や透過波を圧電素子で受信し、試料表面および光学的には見られない内部構造などを観察する。電子部品、半導体素子の非破壊検査などに使われる。1マイクロメートル程度の分解能をもつ。