出典:デジタル大辞泉(小学館)

強いレーザー光を固体表面に照射し、局所的に高温となった表面層が蒸発することで、原子、分子、プラズマ、およびそれらのクラスターが飛散する現象。質量分析蒸着などに利用される。レーザースパッタリング。

[物理・化学/物理・化学の言葉]カテゴリの言葉