出典:デジタル大辞泉(小学館)

半導体集積回路を製造するための装置の総称。半導体に不純物を添加(ドーピング)する装置、ウエハーを製造する装置、回路パターンの焼き付け(フォトリソグラフィー)をする露光装置、組み立てや検査をする装置などを指す。

出典:gooニュース