出典:デジタル大辞泉(小学館)

真空装置などの気密性を検査するリークディテクターのうち、特に微細な隙間からの漏れを検出する装置。ヘリウム分子がふつうの気体分子に比べて小さい性質を利用し、漏れを高精度で検出する。