出典:デジタル大辞泉(小学館)

蒸着分子線エピタキシーの技術により、一原子毎に積層させた半導体超格子。原子の種類や積層の厚みを制御することで、さまざまなバンド構造をもつ半導体超格子をつくることができる。ガリウムヒ素(GaAs)の半導体が知られる。