ジフルオロメタンに一致する言葉

国語辞書(1)

• ジフルオロメタン【difluoromethane】

  フロンの一。メタンを構成する水素原子2個を弗素原子2個と置換した化合物。半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられる。弗化メチレン。HFC-32。化学式CH2F2