化学気相成長法に一致する言葉

国語辞書(1)

• かがくきそう‐せいちょうほう【化学気相成長法】

  原料を含む混合ガスを加熱した基板の上に流し、熱分解などの化学反応によって表面に結晶や非晶質の薄膜を蒸着させる方法。半導体素子の製造過程において、絶縁体や金属などの薄膜を形成するのに欠くことのでき...