真空部品に一致する言葉

国語辞書(1)

• しんくう‐ぶひん【真空部品】

  各種真空装置を構成する部品の総称。真空に面して使用されるため、放出ガスが少ない材料で表面処理を施し、洗浄による付着物の除去などが必要となる。半導体製造装置などで利用される。