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シー‐エム‐ピー【CMP】
《chemical-mechanical polishing》砥粒または研磨液がもつ化学成分の作用とともに研磨すること。シリコンウエハーの平坦化をはじめ、半導体製造における重要な工程の一つとなっ...
《Conference of the Parties serving as the Meeting of the Parties》⇒コップモップ（COP/MOP）
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