イーユーブイ‐リソグラフィー【EUVリソグラフィー】
極紫外線（EUV）を光源に用いるフォトリソグラフィー。10ナノメートルまたはそれより短い波長の光によって、従来のエキシマレーザーよりも半導体集積回路の微細化が可能となる。極紫外線リソグラフィー。...
いそ・ぐ【急ぐ】
［動ガ五（四）］ １ 早く目的を達するように行動する。早くやろうとする。「完成を—・ぐ」「解決を—・ぐ」「—・いで仕上げる」 ２ 早く行き着こうとする。早く進む。「帰宅を—・ぐ」 ３ 気持ちがせ...
フォトリソグラフィー【photolithography】
《「フォトリトグラフィー」とも》半導体集積回路などの製造工程で、シリコンのウエハー上にフォトレジストという感光材料を塗布し、レチクル（フォトマスク）とよばれる回路のパターンの原板を重ねて光を照射...
そぐわ◦ない
［連語］《動詞「そぐう」の未然形＋打消しの助動詞「ない」》⇒そぐう
でんしせん‐リソグラフィー【電子線リソグラフィー】
半導体集積回路などの製造方法の一つ。シリコンウエハー上に電子線レジストなどの感光材を塗布し、レチクル（フォトマスク）と呼ばれる回路原版を重ね、電子線を照射して転写する。フォトリソグラフィーよりも...
しゅう‐ちゅう【集注】
［名］(スル) １ 1か所に集めそそぐこと。また、集まりそそぐこと。集中。「彼らの生活の最大関心は罪の問題に—するところまできた」〈倉田・愛と認識との出発〉 ２ （「集註」とも書く）多くの注釈を...
ひかり‐ぞうけいほう【光造形法】
光硬化性樹脂に特定の波長の光を照射して硬化することで、短時間に立体物を造形する手法。三次元プリンターに用いられる。光造法。液槽光重合法。ステレオリソグラフィー。SL（stereolithogra...
しゃ【洒】
［音］シャ（呉） サイ（呉）（漢） ［訓］すすぐ そそぐ 
〈シャ〉洗ったようにさっぱりしている。「洒脱・洒落(しゃらく)／瀟洒(しょうしゃ)」 
〈サイ〉水で洗い清める。すすぐ。そそぐ。「洒掃...
しゃ【瀉】
［音］シャ（呉）（漢） ［訓］そそぐ １ 流れそそぐ。「瀉出／一瀉千里」 ２ からだの外に流し出す。「瀉下・瀉血・瀉剤・瀉痢／水瀉・吐瀉」 ［難読］沢瀉(おもだか)
きゅう【急】
［音］キュウ（キフ）（呉）（漢） ［訓］いそぐ せく ［学習漢字］3年 １ 進行がせかせかと速い。いそぐ。「急行・急進・急速・急流／早急・至急・性急」 ２ 事態がさし迫っている。「急迫・急務・急...
