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イオン顕微鏡（イオンけんびきょう） とは？ 意味・読み方・使い方

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イオン‐けんびきょう〔‐ケンビキヤウ〕【イオン顕微鏡】
の解説

光線の代わりに高電圧で加速されたイオンビームを用いた顕微鏡。1951年に米国の物理学者E＝W＝ミュラーが発明した電界イオン顕微鏡が有名。陽子、ヘリウム、リチウムなどのイオンを使い、金属の原子配列や金属表面への分子や原子の吸着の観察などに用いられた。現在、同様の観察は主に走査型電子顕微鏡で行われ、イオン顕微鏡は元素分析に用いられることが多い。

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出典：デジタル大辞泉（小学館）

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