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  1. CTスキャナー

  1. コンピューターの画像入力装置。一般に、写真や絵や印刷物などに光を当て、その反射光をイメージセンサーなどで画像データとして取り込む。イメージスキャナー。

  1. シリコンウエハーの基板上に集積回路のパターンを焼き付ける半導体露光装置の一。基板とフォトマスクを同時に動かして、スリットを通して露光する。レンズの歪みが小さい中央部分を用いるため、解像度を上げやすい。