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従来の硬さ試験では測定できなかった微小試料や薄膜試料の力学的特性を測定する手法。極小のダイヤモンド圧子を試料に押し当て、その荷重と変位を測定し、試料の硬さ、弾性率降伏点などを求める。→ナノインデンター