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ナノリソグラフィー（nanolithography） とは？ 意味・読み方・使い方

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ナノリソグラフィー【nanolithography】
の解説

フォトリソグラフィーのうち、おおむね100ナノメートル以下の線幅による超微細な回路のパターンを描き込む技術のこと。光ではなく、電子線やイオンビームを用いる方法が広く利用されている。

出典：デジタル大辞泉（小学館）

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