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辞書
濃硫酸と過酸化水素水を混合した溶液。非常に強力な酸化剤としてはたらくため、シリコンウエハーからレジストを除去する洗浄液に用いられる。名称は、南米の淡水魚ピラニアに由来。ピラニア腐食液。
出典:デジタル大辞泉(小学館)
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