• 意味
  • 例文
  • 慣用句
  • 画像

プラズマを用いて、半導体集積回路などの微細回路を作製する方法プラズマ中に試料をさらすことにより、不必要な部分原子を化学的または物理的に取り去る。特に、プラズマ中の活性イオン反応気化させて不要原子を取り去るプロセスを反応性イオンエッチング(RIE)と呼ぶ。→ドライエッチング

goo辞書は無料で使える辞書・辞典の検索サービスです。1999年にポータルサイト初の辞書サービスとして提供を開始しました。出版社による信頼性の高い語学辞典(国語辞書、英和辞書、和英辞書、類語辞書、四字熟語、漢字など)と多種多様な専門用語集を配信しています。すべての辞書をまとめて検索する「横断検索」と特定の辞書を検索する「個別検索」が可能です。国語辞書ではニュース記事や青空文庫での言葉の使用例が確認でき、使い方が分からない時に便利です。