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planar technologyシリコン基板上に半導体集積回路を作製する技術。シリコン基板の上面を酸化させて、シリコン酸化膜で覆い、次にフォトリソグラフィーにより決められた位置の酸化膜を除去し、この位置に不純物拡散を行うといったプロセスを繰り返して集積回路を作り上げていく。