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超小型の部品から構成される機械装置。大きさの厳密な定義はないが、数マイクロメートルから数ミリメートル程度のものを指す。半導体集積回路の微細加工技術を応用し、MEMSとよばれる超小型のモーターや駆動装置を作成し、血管の中に入って治療活動をするという試みがある。マイクロロボット。→ナノマシン
出典:デジタル大辞泉(小学館)
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