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モノシラン（monosilane） の意味

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出典：デジタル大辞泉（小学館）

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モノシラン【monosilane】
の解説

珪素 (けいそ) の水素化物、シランの一つ。半導体、太陽電池など高純度珪素の製造原料となる。シリコメタン。化学式SiH4

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