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可視光紫外線X線電子線などを照射すると変成する素材。照射された部分のみ、耐薬品性の硬膜をつくったり、逆に薬品に溶けやすくなったりする。半導体集積回路プリント基板などの作製に用いられる。→フォトリソグラフィー

[補説]照射する線源の波長や種類により、フォトレジストX線レジスト電子線レジストなどに分類される。

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出典:gooニュース