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セ氏600度以下で形成できる多結晶シリコン薄膜トランジスター(TFT)の基板を製造する際、石英ガラス基板を必要とする高温ポリシリコンに比べ、安価なガラス基板を用いることができ、大型化が容易という利点がある。LTPS(low temperature polysilicon)。