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辞書
シリコンウエハーの基板上に集積回路のパターンを焼き付ける装置。基板をステップ状に移動させるステッパーと、基板とフォトマスクを同時に動かすスキャナーの二方式がある。縮小投映露光装置。
出典:デジタル大辞泉(小学館)
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