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走査型プローブ顕微鏡の一。鋭くとがった探針(プローブ)を試料表面に近づけたり接触させたりして、それらの原子間にはたらく力を利用し、原子レベルで試料表面の立体構造を観察する顕微鏡。走査型トンネル顕微鏡と異なり、絶縁性の試料でも観察できる。1985年、走査型トンネル顕微鏡を発明したドイツのG=ビーニッヒにより開発された。AFM(atomic force microscope)。
出典:デジタル大辞泉(小学館)
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