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微小電気機械システム（びしょうでんききかいシステム） の意味

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出典：デジタル大辞泉（小学館）

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びしょうでんき‐きかいシステム〔ビセウデンキ‐〕【微小電気機械システム】
の解説

⇒メムス（MEMS）

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