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原料に有機金属を含む混合ガスを用いた化学気相成長法。化合物半導体の作製に利用され、これにより発光ダイオードや半導体レーザーなどの光デバイスの大量生産が可能になった。有機金属化学蒸着法。有機金属化学気相反応法。有機金属CVD(chemical vapor deposition)。MOCVD(metal organic chemical vapor deposition)。MOVPE(metal organic vapor phase epitaxy)。
出典:デジタル大辞泉(小学館)
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