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原料に有機金属を含む混合ガスを用いた化学気相成長法化合物半導体の作製に利用され、これにより発光ダイオード半導体レーザーなどの光デバイスの大量生産が可能になった。有機金属化学蒸着法。有機金属化学気相反応法。有機金属CVD(chemical vapor deposition)。MOCVD(metal organic chemical vapor deposition)。MOVPE(metal organic vapor phase epitaxy)。