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thin film ICシリコンウエハーの基板上に、蒸着フォトリソグラフィー技術により多数の回路素子を配する集積回路。通常のICLSIVLSIを指す。厚膜ICに比べ、格段に集積度を高めることができる。薄膜集積回路。薄膜回路。