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X線を照射したときに放射される蛍光X線を測定して、試料中の元素の検出・定量を行う分析法。その波長と強度から、ホウ素より重い元素を対象とした元素の組成や量についての情報が得られる。非破壊分析法の一つとして、文化財の調査、犯罪捜査などに用いられる。