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物質にX線を照射したときに放射される特性X線の一種。物質の構成原子の内殻にある電子がはねとばされて空所ができ、この空所に外殻の電子がとび移るときに放出される。原子の種類によって特定の波長の蛍光X線を放射するため、元素分析に用いられる。→蛍光X線分析