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鋭くとがった探針(プローブ)を試料表面に近づけ、そこに流れる微弱なトンネル電流を利用し、原子レベルで試料表面の立体構造を観察できる顕微鏡。試料は導電性のものに限られる。走査型プローブ顕微鏡の一。1982年にドイツのG=ビーニッヒ、スイスのH=ローラーにより発明され、二人はこの功績により1986年にノーベル物理学賞を受賞。STM(scanning tunneling microscope)。

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