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鋭くとがった探針(プローブ)を試料表面に近づけることによって生じる局所的な物理現象を利用した顕微鏡の総称。トンネル電流を用いる走査型トンネル顕微鏡、原子間にはたらく力を利用する原子間力顕微鏡のほか、磁気や電位を評価する顕微鏡などが開発され、いずれも原子レベルの構造の観察が可能。探針の先から近接場光という特殊な光を試料に照射する走査型近接場光顕微鏡も含まれる。SPM(scanning probe microscope)。

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