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純水から有機物シリカウイルスなどの不純物をできるかぎり除去した水。一般に水温25度で抵抗率が18Mオーム以上の水を指す。医療分野のほか、LSI液晶ディスプレー半導体素子の洗浄など、幅広く利用される。