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超音波による振動で、液体に浸した器具などの汚れを除去すること。通常、歯科器具、眼鏡、宝石などの洗浄には15キロヘルツから50キロヘルツ、半導体などに付着する微細な汚れの洗浄には1メガヘルツの周波数の音波が用いられる。