酸化イットリウム（さんかイットリウム）とは？意味・読み方・使い方

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さんか‐イットリウム〔サンクワ‐〕【酸化イットリウム】
の解説

イットリウムの酸化物。無色の結晶または白色の粉末。等軸晶系。水・アルカリに不溶。屈折率は1.91と高い。耐プラズマ性に優れる。半導体製造装置、レーザー材料に用いられる。イットリア。化学式Y₂O₃

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出典：デジタル大辞泉（小学館）

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