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きわめて反応性が高い酸化エチレンを用いて滅菌すること。高温高圧滅菌や乾熱滅菌と異なり、比較的低温で強い殺菌力を示し、金属や樹脂などに影響を与えないため、医療器具や精密機器の滅菌に用いられる。

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