電子線レジスト（でんしせんレジスト）とは？意味・読み方・使い方

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でんしせん‐レジスト【電子線レジスト】
の解説

電子線リソグラフィーに用いられるレジスト。走査型電子顕微鏡の技術を応用し、主にシリコンウエハー上にパターンを焼き込むフォトマスクの作製に使用する。

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出典：デジタル大辞泉（小学館）

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