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ステッパー（stepper） とは？ 意味・読み方・使い方

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ステッパー【stepper】
の解説

シリコンウエハーの基板上に集積回路のパターンを焼き付ける半導体露光装置の一。基板をステップ状に移動し、露光する。

出典：デジタル大辞泉（小学館）

ステッパー のカテゴリ情報

出典：デジタル大辞泉（小学館）

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