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辞書
集積回路の製造装置の微細加工技術を表す指標。シリコン上に引く線の幅をさす。この値が小さいほど消費電力が小さく、動作速度が速い。プロセスサイズ。プロセスルール。プロセス。
出典:デジタル大辞泉(小学館)
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