EUV（イーユーブイ）とは？意味・読み方・使い方
《extreme ultraviolet》

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イー‐ユー‐ブイ【EUV】
の解説

《extreme ultraviolet》⇒極紫外線

出典：デジタル大辞泉（小学館）

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イーユーブイリソグラフィー【EUVリソグラフィー】

極紫外線（EUV）を光源に用いるフォトリソグラフィー。10ナノメートルまたはそれより短い波長の光によって、従来のエキシマレーザーよりも半導体集積回路の微細化が可能となる。極紫外線リソグラフィー。極端紫外線リソグラフィー。EUVL（extreme ultraviolet lithography）。

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