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high efficiency particulate air filter》空気中のちりを濾過 (ろか) して清浄化するエアフィルター。クリーンルームクリーンベンチなどに用いられる。JIS (ジス) 規格では、0.3マイクロメートルの粒子の除去率が99.97パーセント以上のものと規定される。さらに集塵効果を高めたULPA (ウルパ) フィルターがある。

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