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トリフルオロメタン【trifluoromethane】
フロンの一。メタンを構成する水素原子3個を弗素原子3個と置換した化合物。エアコンや冷蔵庫の冷媒のほか、半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられる。温室効果ガスの一...