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エキシマ‐レーザー【excimer laser】
XeCl(キセノン・塩素)、ArF(アルゴン・弗素(ふっそ))といった励起状態にある二原子分子(エキシマ)を利用するレーザー。紫外線・可視光短波長域のパルスを出力する。
excimer laser
エキシマレーザー(◇紫外線領域で高効率・高出力がえられる)