エッチングガスに一致する言葉

国語辞書(1)

• エッチング‐ガス【etching gas】

  ドライエッチングで用いられる、高い反応性を示すガス。フルオロメタン、ジフルオロメタン、トリフルオロメタン、六弗化硫黄、六弗化ブタジエンなどが知られる。