トリフルオロメタンに一致する言葉

国語辞書(1)

• トリフルオロメタン【trifluoromethane】

  フロンの一。メタンを構成する水素原子3個を弗素原子3個と置換した化合物。エアコンや冷蔵庫の冷媒のほか、半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられる。温室効果ガスの一...