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辞書
ナノ‐マシニング【nano machining】
ナノメートル程度という分子レベルの微細構造をつくる技術。走査型トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡、光ピンセット、自己組織化などの技術を応用する。→マイクロマシニング →ナノマシン →NEMS(ネムス)