ナノリソグラフィーに一致する言葉

国語辞書(1)

• ナノリソグラフィー【nanolithography】

  フォトリソグラフィーのうち、おおむね100ナノメートル以下の線幅による超微細な回路のパターンを描き込む技術のこと。光ではなく、電子線やイオンビームを用いる方法が広く利用されている。