マイクロメカトロニクスに一致する言葉

国語辞書(1)

• マイクロメカトロニクス【micromechatronics】

  半導体製造に用いられる微細加工技術を応用し、マイクロマシンなどの超小型の機械システムをつくる技術の総称。