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マイクロ‐りゅうろ【マイクロ流路】
数マイクロメートル程度の幅の流路。半導体集積回路の製造に用いられる微細加工技術を応用し、ガラス基板などに微小な流路を作成する。マイクロ流体デバイスに利用される。