六弗化ブタジエンに一致する言葉

国語辞書(1)

• ろくふっか‐ブタジエン【六弗化ブタジエン】

  弗素化合物の一。半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられる。大気寿命が短いため、環境負荷が小さく、地球温暖化係数が高いトリフルオロメタンなどの代替品となる。ヘキサ...