半導体製造装置に一致する言葉

国語辞書(1)

• はんどうたい‐せいぞうそうち【半導体製造装置】

  半導体集積回路を製造するための装置の総称。半導体に不純物を添加（ドーピング）する装置、ウエハーを製造する装置、回路パターンの焼き付け（フォトリソグラフィー）をする露光装置、組み立てや検査をする装...